LUXOR Pt 離子濺射鍍鉑儀

LUXOR Pt 磁控離子濺射鉑鍍膜儀是比利時(shí)Aptco Technologies旗下LUXOR品牌產(chǎn)品之一。LUXOR專注實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)計(jì)、制造與供應(yīng)，涵蓋樣品制備和測試設(shè)備；已開發(fā)LUXOR Au、LUXOR Pt和LUXOR C三款鍍膜儀，分別滿足普通掃描電鏡（SEMs）/臺(tái)式電鏡、高分辨場發(fā)射電鏡（FEG-SEMs）及EDS制樣的需求，用于通過在非導(dǎo)電或弱導(dǎo)電樣品表面施加導(dǎo)電薄層解決荷電等問題。

LUXOR通過創(chuàng)新技術(shù)和智能設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)可靠的SEM樣品濺射鍍膜。LUXOR開發(fā)了一系列先進(jìn)全自動(dòng)鍍膜儀，致力于讓SEM鍍膜對(duì)所有用戶都智能、簡便。

LUXOR 鍍膜儀技術(shù)特點(diǎn)

增強(qiáng)安全性：所有電壓和電流導(dǎo)線都被安全地封裝在濺射設(shè)備中，大大降低了觸電的風(fēng)險(xiǎn)。這一安全特性讓您可以完全放心地操作設(shè)備。

輕松操作：倒置設(shè)計(jì)使得蓋子（同時(shí)也是樣品裝載平臺(tái)）易于接觸。這讓您可以快速放置或取出樣品，而無需使用特殊鑷子或夾具。這種簡便性不僅提升了易用性，還通過簡化流程提高了生產(chǎn)率。

潔凈鍍膜：這種倒置設(shè)計(jì)確保了在鍍膜過程中松散顆粒被去除，有助于讓您的掃描電子顯微鏡（SEM）免受雜質(zhì)影響，從而保持佳保護(hù)。因此，這也有助于獲得更一致、更可靠的結(jié)果。

三維鍍膜：等離子體中的較大顆粒由于重量原因會(huì)被吸向真空泵，而不是落在樣品上，從而提升鍍膜質(zhì)量。這種效果與我們A²技術(shù)的智能自學(xué)習(xí)算法相結(jié)合，消除了對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)或行星臺(tái)的需求，大大簡化了對(duì)三維及多孔樣品的鍍膜設(shè)置，提升了速度和效率，使自動(dòng)鍍膜更加簡潔高效。

全自動(dòng)化：直觀、易用的觸屏用戶界面，鍍膜過程完全自動(dòng)化。用戶只需選擇所需鍍膜厚度并按下啟動(dòng)按鈕即可，大大減少了人為錯(cuò)誤的可能性。新的操作員和實(shí)驗(yàn)室人員僅需幾分鐘的基礎(chǔ)培訓(xùn)即可學(xué)會(huì)操作該設(shè)備。

LUXOR Pt 離子濺射鍍鉑儀

針對(duì)SEM和FE-SEM的高分辨率應(yīng)用而量身定制的全自動(dòng)濺射鍍膜儀，放大倍數(shù)從50,000倍起

可在空氣或氬氣中用金(Au)、金/鈀(Au/Pd)，以及在氬氣中用鉑(Pt)對(duì)樣品進(jìn)行鍍膜

融合A²技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高分辨率3D鍍膜

倒置式設(shè)計(jì)，可同時(shí)鍍多達(dá)7個(gè)直徑12mm的樣品

LUXOR 鍍膜儀配件

標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)

主機(jī)含標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)，可容納7個(gè)直徑12.5 mm或3個(gè)直徑25 mm的釘型樣品座，倒置時(shí)釘臺(tái)不會(huì)掉落。

樹脂包埋樣品臺(tái)

樹脂包埋樣品臺(tái)用于容納直徑25–40mm、高度10–50mm的各種樣品，樣品通過三顆螺絲固定。該多功能樣品臺(tái)還可用于較大或形狀不規(guī)則、無法直接安裝在釘臺(tái)上的樣品鍍膜。

圓柱形樣品臺(tái)

圓柱形樣品臺(tái)設(shè)有3個(gè)位置，適用直徑為9mm、12mm和25mm樣品座，常用于各種品牌電鏡的制樣。

濺射靶材

LUXOR靶材獨(dú)具特色。每個(gè)金屬靶托盤可選鉑、金或金/鈀，并預(yù)裝在便捷的推入式支架中�？蛇x空的推入式支架。

特點(diǎn)：預(yù)裝設(shè)計(jì)，安裝快捷；延長靶材壽命，減少“跑道磨損”；可在空氣或氬氣中使用；更換靶材無需工具。

靶材型號(hào)

• LU02-GOLD100：金靶（99.999% 純度），直徑30 mm，厚度100 µm，用于LUXOR Au和LUXOR Pt

• LU02-PLATINUM100：鉑靶（99.999% 純度），直徑30 mm，厚度100 µm，用于LUXOR Pt

• LU02-GOLDPD100：金/鈀靶（Au 80%:Pd 20%），直徑30 mm，厚度100 µm，用于LUXOR Au和LUXOR Pt

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