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適用于FBAR的金屬布拉格聲波反射層結(jié)構(gòu) |
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| 本發(fā)明屬于新型射頻電子元器件領(lǐng)域，特別是涉及一種適用于ＦＢＡＲ的金屬布拉格聲波反射層結(jié)構(gòu)；它包括高聲抗阻層和低聲抗阻層，其特征在于所述高聲抗阻層和低聲抗阻層為金屬薄膜，其中高聲抗阻層由鎢與鉬中的一種材料構(gòu)成，低聲抗阻層由金屬鋁構(gòu)成，所述高聲抗阻層與低聲抗阻層交替疊合而成；所述高、低聲抗阻層的厚度為１／４或３／４聲波波長。所述高、低聲抗阻層的層數(shù)相對(duì)應(yīng)，其層數(shù)為３－７層；該布拉格反射層具有工藝簡單、膜厚便于控制且重復(fù)性好、金屬之間結(jié)力好和金屬間熱應(yīng)力小，是一種用于薄膜體聲波器件的布拉格聲反射層的良好材料和結(jié)構(gòu)。 |
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適用于FBAR的金屬布拉格聲波反射層結(jié)構(gòu)
適用于ＦＢＡＲ的金屬布拉格聲波反射層結(jié)構(gòu)，包括高聲抗阻層和低聲抗阻層，其特征在于所述高聲抗阻層和低聲抗阻層為金屬薄膜，其中高聲抗阻層由鎢與鉬中的一種材料構(gòu)成，低聲抗阻層由金屬鋁構(gòu)成，所述高聲抗阻層與低聲抗阻層交替疊合而成。
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| 專利號(hào): |
200810060160 |
| 申請(qǐng)日: |
2008年3月12日 |
| 公開/公告日: |
2008年10月1日 |
| 授權(quán)公告日: |
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| 申請(qǐng)人/專利權(quán)人: |
浙江大學(xué) |
| 國家/省市: |
杭州(86) |
| 郵編: |
310027 |
| 發(fā)明/設(shè)計(jì)人: |
董樹榮、韓雁、趙士恒、程維維、王德苗、李侃 |
| 代理人: |
陳向群 |
| 專利代理機(jī)構(gòu): |
(33223) |
| 專利代理機(jī)構(gòu)地址: |
() |
| 專利類型: |
發(fā)明 |
| 公開號(hào): |
101277099 |
| 公告日: |
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| 授權(quán)日: |
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| 公告號(hào): |
000000000 |
| 優(yōu)先權(quán): |
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| 審批歷史: |
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| 附圖數(shù): |
1 |
| 頁數(shù): |
4 |
| 權(quán)利要求項(xiàng)數(shù): |
1 |
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