一、簡(jiǎn)介

GB/T10064導(dǎo)電塑料四探針?lè)綁K電阻率測(cè)試儀是運(yùn)用四探針原理測(cè)量方塊電阻的專用儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時(shí)顯示。儀器 測(cè)試范圍0-10MΩ，小分辨率0.1uΩ，電阻小精度0.01%，精度2%�？捎糜跍y(cè)試半導(dǎo)體、⾦屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率。 GB/T10064導(dǎo)電塑料四探針?lè)綁K電阻率測(cè)試儀配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無(wú)人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)人工多次和重復(fù)設(shè)置。

四端測(cè)試法是目前較之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

自動(dòng)雙極板材料四探針低阻測(cè)試儀采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇，滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求。

二、特點(diǎn)

●測(cè)試探頭直排和矩形可選；

●標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接⼝；

●可配戴軟件查看和記錄測(cè)試數(shù)據(jù)；●電阻⾼精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ；

●方電阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ；

●雙電測(cè)原理，提⾼精度和穩(wěn)定性；

三、適用范圍

● 四探針治具測(cè)試片狀或塊狀半導(dǎo)體材料、金屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率

● 開(kāi)爾文測(cè)試夾直接測(cè)試電阻器直流電阻；

四、參數(shù)

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

2. 基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

3. 精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；

方阻基本準(zhǔn)確度：1%；

電阻率基本準(zhǔn)確度：1%

4. 整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差：≤±1%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%

5. 正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差

6. 恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí)，恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)。

7. 可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。

8. 厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)查表即可計(jì)算出電阻率。

9. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

10. 雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.

11. 具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。

12. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

13. 測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

14. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

四探針電阻率測(cè)試儀在半導(dǎo)體、新能源、微電子等領(lǐng)域都是測(cè)量電阻率的“黃金標(biāo)準(zhǔn)”，我來(lái)幫你梳理一下它的主要應(yīng)用場(chǎng)景：

一、半導(dǎo)體材料研究
‌硅、鍺、砷化鎵等材料‌：直接測(cè)電阻率、載流子濃度和摻雜類型，雜質(zhì)含量一目了然。
‌晶圓制造‌：檢測(cè)外延片、離子注入片的電阻率均勻性，確保工藝質(zhì)量。
‌溫度依賴性研究‌：分析材料電學(xué)性能隨溫度的變化。
二、薄膜材料分析
‌金屬膜、氧化物薄膜‌：評(píng)估導(dǎo)電性能，比如氧化鋁、氮化硅等。
‌光伏領(lǐng)域‌：測(cè)太陽(yáng)能電池薄膜的方阻分布，優(yōu)化制備工藝。
‌微納米金屬燒結(jié)體‌：高精度測(cè)電阻率，避免接觸電阻干擾。
三、納米材料與石墨烯表征
‌石墨烯‌：測(cè)薄層電阻和載流子遷移率，分析晶界、褶皺對(duì)電導(dǎo)率的影響。
‌微四探針技術(shù)‌：晶圓級(jí)石墨烯電導(dǎo)性能的高分辨率評(píng)估，誤差低于0.1%。
四、導(dǎo)電材料檢測(cè)
‌合金、陶瓷等材料‌：支持大尺寸樣品直接測(cè)量。
‌微電子器件‌：快速檢測(cè)器件的電學(xué)性能。
五、工業(yè)與科研應(yīng)用
‌電阻率mapping技術(shù)‌：分析材料表面電學(xué)性能的空間分布。
‌范德堡法結(jié)合‌：適用于任意形狀樣品的電阻率測(cè)量。
六、功率半導(dǎo)體與集成電路
‌生產(chǎn)工藝監(jiān)控‌：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)外延生長(zhǎng)、離子注入、擴(kuò)散工藝中的電阻率變化。
‌工藝設(shè)備校準(zhǔn)‌：監(jiān)測(cè)擴(kuò)散爐溫度分布、金屬或介質(zhì)膜沉積厚度等。
七、光伏行業(yè)
‌太陽(yáng)能電池測(cè)試‌：適用于單晶硅、多晶硅、非晶硅、鈣鈦礦等材料的電阻率測(cè)量。
‌液晶面板‌：測(cè)ITO/AZO等導(dǎo)電薄膜的電阻率。
八、功能材料研究
‌熱電材料、碳納米管、石墨烯等‌：高精度測(cè)量電阻率。
‌半導(dǎo)體工藝檢測(cè)‌：用于金屬化、離子注入、擴(kuò)散層等工藝的電阻率測(cè)試。
九、非晶合金與形狀記憶合金
‌非晶合金‌：測(cè)電阻率，分析其電學(xué)性能。
‌形狀記憶合金‌：研究電阻率隨溫度的變化。
十、半導(dǎo)體制造
‌在線檢測(cè)‌：設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)試重復(fù)性好，特別適合在線篩查。
‌工藝優(yōu)化‌：為工藝優(yōu)化與質(zhì)量控制提供可靠依據(jù)。

總之，四探針電阻率測(cè)試儀憑借非破壞性、高精度和寬量程的特點(diǎn)，在半導(dǎo)體、新能源、微電子等領(lǐng)域都是不可或缺的工具。